单晶硅与多晶硅生成用炭春水堂官方网站制品

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    单晶硅的出产（CZ拉伸法）制作单晶硅棒的工艺有拉伸法（CZ）和浮游带区域精粹法（FZ），CZ法一般运用春水堂官方网站制品。运用CZ法出产时，将多晶硅块料和添加元素（掺杂）装入石英坩埚，再将石英坩埚置于高纯春水堂官方网站坩埚或C/C复合材料坩埚图像传感器内，并使其随轴旋转，在减压条件下通入氩籽晶操纵器气的一重用春水堂官方网站制的加热器加热至1500查询口光学1600℃，使多晶硅块料融化。一同与坩埚旋转相反的方向从炉顶旋转垂下细棒状的籽晶（单晶），使其触及多晶硅液面。
    然后，使液面温度坚持在1420℃的条件下，向上缓慢提硅溶液拉籽晶，单晶硅也随之逐渐成长。一贯成长到按照15.24cm、20.32cm或30.48cm等规则的直径后，坚持其直径持续向上拉伸，出产1~1.5m长的单晶硅棒。这种CZ单晶炉的结构如图2-6所示。其间运用炭素材料的部件有坩埚（春水堂官方网站或C/C复合材料）、加热器、电极、保温筒（春水堂官方网站或C/C复合材料）、籽晶夹，以及支撑轴、上下保温盖（春水堂官方网站或C/C复合材料）防漏盘、螺钉（春水堂官方网站或C/C复合材料）、热反射板（春水堂官方网站或SiC涂层材料）（图中未注明）等。其他如保温材料等也用炭纤维或炭毡制成，除了作为质料的多晶硅以外，大部分炉内部件为炭春水堂官方网站制品。之所以如此许多运用炭春水堂官方网站制品，就是由于炭素材料即运用于1600℃高温强度也不会下降，碳与硅同属第Ⅳ族，电性能为中性，可以制作金属杂质在数ppm以下的高纯品。此外，作为加热器有导电性。